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J-GLOBAL ID：202104013078938640  Research Project code：13427616

貼り合せSiC基板製造装置

貼り合せSiC基板製造装置
Study period：2014 -
Organization (2)：
株式会社サイコックス

About 株式会社サイコックス

, 
独立行政法人産業技術総合研究所

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Corporate responsibility：
株式会社サイコックス

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Research responsibility：
高木 秀樹

About 高木 秀樹

(
独立行政法人産業技術総合研究所

About 独立行政法人産業技術総合研究所

, 集積マイクロシステム研究センター大規模インテグレーション研究チーム, 研究チーム長 )
Terms in the title (3)：
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
貼り合せ

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, 
SiC基板

About SiC基板

, 
製造装置

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Research program：
Industry-Academia Collaborative R&D

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＞
R&D Programs Focused on Technology Transfer

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Newly Extended Technology transfer Program

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Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency

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