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J-GLOBAL ID：202104013102925563  Research Project code：19198795

ナノ領域電子回折による高精度立体形状計測法

ナノ領域電子回折による高精度立体形状計測法
National award number：JPMJTM19CM
Study period：2019 - 2020
Organization (1)：
奈良先端科学技術大学院大学

About 奈良先端科学技術大学院大学


Principal investigator：
服部 賢

About 服部 賢

(
奈良先端科学技術大学院大学

About 奈良先端科学技術大学院大学

, 先端科学技術研究科, 准教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM19CM
Research overview：
電子回折パターンの自動計測法及び逆空間への校正法の確立により、立体結晶表面の逆空間マップを高精度に作成する。立体デバイスの側面表面の表面結晶性や原子平坦性の評価技術を確立することを目的とする。
Terms in the title (3)：
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
電子回折

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, 
立体

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, 
形状計測

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Research program：
Industry-Academia Collaborative R&D

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R&D Programs Focused on Technology Transfer

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Adaptable & Seamless Technology Transfer Program through Target-driven R&D

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Functional verification phase

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Test study

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Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency

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