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J-GLOBAL ID：202104013205275923  Research Project code：7700400771

高トルク超音波リニアモータを用いた高精度XY-θステージの開発

高トルク超音波リニアモータを用いた高精度XY-θステージの開発
Study period：2003 -
Organization (1)：
株式会社ナノコントロール

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Corporate responsibility：
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