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J-GLOBAL ID:202104013207357161
Research Project code:19198872
ファインピッチ化に対応する高精度立体MEMSプローブ製造技術の確立
ファインピッチ化に対応する高精度立体MEMSプローブ製造技術の確立
National award number:JPMJTM19CL
Study period:2019 - 2020
Organization (1):
Principal investigator:
(
, 理工学部, 准教授 )
DOI:
https://doi.org/10.52926/JPMJTM19CL
Research overview:
本研究では,40 μm 以下のファインピッチに対応するLSI検査用のMEMSプローブの開発を行う.マイクロスケールの複雑な立体構造を実現するために,シリコンの多段構造の加工,ポリマーの高精度アライメント接合などの加工技術を確立する.
Terms in the title (3):
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Research program:
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Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency
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