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J-GLOBAL ID：202104013207357161  Research Project code：19198872

ファインピッチ化に対応する高精度立体MEMSプローブ製造技術の確立

ファインピッチ化に対応する高精度立体MEMSプローブ製造技術の確立
National award number：JPMJTM19CL
Study period：2019 - 2020
Organization (1)：
立命館大学

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Principal investigator：
安藤 妙子

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(
立命館大学

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, 理工学部, 准教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM19CL
Research overview：
本研究では,40 μm 以下のファインピッチに対応するLSI検査用のMEMSプローブの開発を行う.マイクロスケールの複雑な立体構造を実現するために,シリコンの多段構造の加工,ポリマーの高精度アライメント接合などの加工技術を確立する.
Terms in the title (3)：
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立体

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MEMS

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プローブ

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Research program：
Industry-Academia Collaborative R&D

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Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency

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