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J-GLOBAL ID：202104013374795170
Research Project code：07051153
レーザー補助広角3次元アトムプローブの開発とデバイス解析への応用
レーザー補助広角3次元アトムプローブの開発とデバイス解析への応用
National award number：JPMJCR0604
Study period：2006 - 2010
Organization (1)：
Principal investigator：
(
, 磁性材料センター, フェロー )
DOI：
https://doi.org/10.52926/JPMJCR0604
Research overview：
磁気・半導体デバイスのナノ領域の原子分布を3次元的に可視化するために、フェムト秒レーザーにより針状試料表面からイオン化する原子を広い角度で取り込むレーザー補助広角3次元アトムプローブを開発します。同時に、あらゆる試料からアトムプローブ試料を作製する技術を開拓し、これまで解析不可能であった難分析試料ならびに半導体、磁気デバイスの高領域3次元原子分布解析を行う技術を確立します。
Terms in the title (6)：
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Research program：
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Parent Research Project：
物質現象の解明と応用に資する新しい計測・分析基盤技術
Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency
