ペンシル型走査型プローブ顕微鏡の開発

Study period：2004 - 2007
Organization (1)：
Research responsibility： ( , マテリアルサイエンス研究科, 教授 )
Research overview：

超高分解能走査型電子顕微鏡(SEM)の試料ホルダー内に収まるペンシル型の走査型プローブ顕微鏡(SPM)を開発・複合化する。SEMは「目」の役割を、SPMは「手」の役割を担う。『表面観察・評価装置』はもとより、『ボトムアップ型ナノテクノロジー・ツール』として広く利用できる装置として事業化を目指す。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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