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J-GLOBAL ID:202104013733757301  Research Project code:08003408

ペンシル型走査型プローブ顕微鏡の開発

ペンシル型走査型プローブ顕微鏡の開発
Study period:2004 - 2007
Organization (1):
Research responsibility: ( , マテリアルサイエンス研究科, 教授 )
Research overview:
超高分解能走査型電子顕微鏡(SEM)の試料ホルダー内に収まるペンシル型の走査型プローブ顕微鏡(SPM)を開発・複合化する。SEMは「目」の役割を、SPMは「手」の役割を担う。『表面観察・評価装置』はもとより、『ボトムアップ型ナノテクノロジー・ツール』として広く利用できる装置として事業化を目指す。
Terms in the title (3):
Terms in the title
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Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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