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J-GLOBAL ID：202104013901566177  Research Project code：08004249

超電導体利用半導体製造用スピン処理装置

超電導体利用半導体製造用スピン処理装置
National award number：JPMJTT0709
Study period：2007 -
Organization (2)：
新潟大学

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, 
株式会社エムテーシー

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Principal investigator：
福井 聡

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(
新潟大学

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, 大学院自然科学科, 准教授 )
Corporate responsibility：
株式会社エムテーシー

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DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTT0709
Terms in the title (3)：
Terms in the title
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電導体

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, 
半導体製造

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, 
スピン

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Research program：
Industry-Academia Collaborative R&D

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Organization with control over the research：
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