レーザーアブレーション加工における電圧印加効果に関する試験研究

Study period：2006 - 2006
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 大学院工芸科学研究科, 教授 )
Research overview：

本試験研究は、金属などの被加工物の加工時の温度上昇を低くおさえることができ加工歪みが少ないという特長を持つレーザーアブレーション加工において、被加工物に電圧を印加することによって加工時に発生するプラズマを解離して加工速度を向上させるとともに加工時に生じるドロスを積極的に除去してクリーンな加工を実現しようとするものである。これによりサブミクロンオーダーの微細加工が可能となり、電子部品等の製造に提供できる、今までにない三次元微細金型等の加工が可能となる。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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