超高性能PZT単結晶薄膜を用いた小型・高セキュアな超音波生体認証デバイスの創製と圧電MEMSサプライチェーンへの産業的貢献

National award number：JPMJTR20R8
Study period：2020 - 2022
Organization (1)：
Research responsibility： ( , 大学院工学研究科, 特任准教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTR20R8
Research overview：

圧電MEMS超音波センサ(pMUT)は,非接触インターフェースや生体認証センサなど様々な応用と大きな市場が期待されている。我々は,これに特化した「世界最高性能のチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)系単結晶薄膜」の開発に成功し,従来のセンサ性能を凌駕することを実証している。この成膜法の事業会社への技術移転を現在進めているが,この超高性能pMUTを用いなくては実現が難しい唯一無二の応用の創出も期待されている。そこで本研究では,その候補の一つとして,革新的な高セキュア超音波生体認証デバイスを開発する。そして,デバイス・モデュールメーカーとも共創し,圧電MEMSサプライチェーン全体の発展に貢献する。

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Research program：＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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