クリーンルーム用多孔板吸音材の研究と消音装置の開発

Study period：2008 - 2008
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 大学院工学研究科, 准教授 )
Research overview：

超微細加工が行われる環境では、機器や試料の微振動が加工精度に影響する。微振動の原因には地盤振動の外に、機器が発する音圧による周囲機器の励振があるがグラスウールなどの吸音材は繊維や薄膜で構成されるため、クリーンルームのような清浄な環境下では使用できない。そこで本研究では多孔板を用いたクリーンルーム用の吸音材を提案し、消音ボックスに適用して音圧低減効果を実証し、その音圧低減効果を予測する設計技術を確立する。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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