ワンショット・ナノレベル表面形状測定機の事業化

National award number：JPMJST2013
Study period：2020 - 2022
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 大学院工学研究科, 特任教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJST2013
Research overview：

電子部品や機械部品などの表面凹凸や平坦度を、高分解能・大面積・ワンショットで測定可能な装置の開発を行う。スタンドアローン型装置の開発・製造・販売から、さらにインライン測定可能な装置の事業化を行うベンチャーの設立を目指す。

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Research program：＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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