Proj
J-GLOBAL ID:202104014201770837  Research Project code:07050847

高空間分解能蛍光X線分析装置の開発

高空間分解能蛍光X線分析装置の開発
Study period:2006 - 2009
Organization (1):
Research responsibility: ( , 工学(系)研究科(研究院) )
Research overview:
非破壊的に大気圧下で元素定量分析ができるという蛍光X線分析法の利点を活かしつつ、X線集光素子を利用することにより微小部での蛍光X線分析装置を開発した。高空間分解能を有する共焦点型の3次元蛍光X線分析装置を試作し、さらに、可搬型X線分析顕微鏡装置の開発にも成功した。
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

Return to Previous Page