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J-GLOBAL ID:202104014361561339
Research Project code:08003418
パラレル・ナノライティングシステムの開発とナノデバイス創成への応用
パラレル・ナノライティングシステムの開発とナノデバイス創成への応用
Study period:2004 - 2007
Organization (1):
Research responsibility:
(
, 理工学部, 教授 )
Research overview:
NEMSと称されるナノシステムを試作・開発するためには、既存半導体プロセス技術に適合したナノ微細加工技術が必須となる。本研究では、MEMSアクチュエータによって個々のプローブが独立して駆動するマルチプローブアレイと、原子間力顕微鏡技術に基づいたパラレル・ナノ描画システムを新開発し、安価で容易、かつ高精度なナノパターニング技術を構築する。さらに、ナノ描画システムと、単分子薄膜マスク技術およびマイクロマシーニング技術を組み合わせて、ナノシステムの試作技術の確立を目指す。
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Research program:
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Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency
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