Proj
J-GLOBAL ID:202104014437816510  Research Project code:09156352

反応性プラズマ溶射法を用いたSi系粉末からの透明石英膜の合成

反応性プラズマ溶射法を用いたSi系粉末からの透明石英膜の合成
Study period:2009 - 2009
Organization (1):
Principal investigator: ( , 大学院 理工学研究科, 准教授 )
Research overview:
これまで申請者らは、強制伸張型プラズマジェット発生器を基礎とした新しいプロセシング装置を開発し、ダイヤモンド合成や高効率遠赤外線放射体の作製など、熱プラズマ利用した新素材開発を行ってきた。本研究では、これまでの知見をもとに、直流プラズマジェット中にシリコン系の材料粉末を注入し、膜状の透明石英ガラスを合成する新しい反応性プラズマ溶射技術を確立することを目的とする。
Terms in the title (5):
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

Return to Previous Page