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J-GLOBAL ID：202104014886485137  Research Project code：11103163

低温焼き戻し鋼に対応したマイクロ波方式・超高速DLC成膜プロセスの開発

低温焼き戻し鋼に対応したマイクロ波方式・超高速DLC成膜プロセスの開発
Study period：2011 - 2013
Organization (2)：
ブラザー工業株式会社

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, 
名古屋大学

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Corporate responsibility：
ブラザー工業株式会社

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Research responsibility：
上坂 裕之

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(
名古屋大学

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, 大学院工学研究科, 准教授 )
Terms in the title (6)：
Terms in the title
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低温

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, 
焼き戻し

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マイクロ波

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DLC

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成膜プロセス

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, 
開発

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Research program：
Industry-Academia Collaborative R&D

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Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency

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