ナノ加工技術を応用した超高速クロック素子の開発

Study period：2005 - 2008
Organization (1)：
Research responsibility： ( , 地域共同研究センター, 准教授 )
Research overview：

微細金型加工技術と共振型VCSEL素子を組み合わせた40GHzの超高速クロック素子を開発するための開発を行った。金型加工技術では、超精密5軸加工機での加工技術を蓄積でき、共振用ミラー金型を形状誤差600nmにて加工することができた。この誤差が工具の摩耗により生じていることも明らかになり、摩耗量をフィードバックすることでさらなる加工精度の向上が可能になる。VCSELとしては39GHzのモード同期を確認すると共に2往復共振技術を発見し、特許出願を行った。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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