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J-GLOBAL ID:202104014954466170
Research Project code:08002810
電気光学素子を用いた高精度3次元計測装置の開発に関する研究
電気光学素子を用いた高精度3次元計測装置の開発に関する研究
Study period:2005 -
Organization (1):
Corporate responsibility:
Research overview:
高密度・微細化する半導体やフラット表示パネルや金属・樹脂精密製品の高スループット代替生産技術が創出されつつある中で、ワークの画像認識・識別による画像検査技術の精密化が求められているが、従来の3次元計測装置は機械駆動部に依存しているので、騒音・振動による精度低下、磨耗劣化による低い耐久性、連続画像計測システムの構築の困難さが問題であった。これまでの研究で、これらの問題は電気光学素子を用いた高速無可動機構による3次元計測技術によって解決できた。このような背景から本研究では、従来のレーザ走査型共焦点光学装置の1/5~1/10程度の小型軽量化を最終目的とし、CCD並のフレームレートとレーザ走査の超高解像力を持つ3次元計測技術を開発する。
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Research program:
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Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency
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