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J-GLOBAL ID:202104015067741040  Research Project code:19198282

半導体レーザーによる単結晶シリコン帯形成アニール装置の開発

半導体レーザーによる単結晶シリコン帯形成アニール装置の開発
National award number:JPMJTR191C
Study period:2019 - 2021
Organization (1):
Corporate responsibility: ( , 技術部 技術1課, 課長 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTR191C
Terms in the title (4):
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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