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J-GLOBAL ID：202104015261727619
Research Project code：17940415
多層エレクトレット集積型CMOS-MEMS振動発電素子の創製
多層エレクトレット集積型CMOS-MEMS振動発電素子の創製
National award number：JPMJPR17R9
Study period：2017 - 2020
Organization (1)：
Principal investigator：
(
, 科学技術創成研究院未来産業技術研究所, 助教 )
DOI：
https://doi.org/10.52926/JPMJPR17R9
Research overview：
本研究では、エレクトレット実装技術とCMOS-MEMS技術を融合し、環境振動エネルギーをmW級の電気エネルギーに変換する小型振動発電デバイスの実現を目指します。多層エレクトレットと高密度メタル可動電極および周辺回路・センサを集積化することで、無線通信可能な自己給電型環境センサ応用に向けた、新たな振動発電素子を実現します。
Terms in the title (5)：
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Research program：
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Parent Research Project：
微小エネルギーを利用した革新的な環境発電技術の創出
Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency
