大面積配向カーボンナノチューブ作製技術の開発

Study period：2005 - 2005
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 工芸学部 )
Research overview：

本研究では大面積基板上に直接配向したCNT(カーボンナノチューブ)を作製する装置の開発を行う。基板上の配向CNTはFED(電界電子放射型ディスプレイ)や太陽光熱電子発電の電子放出源材料として期待されている。しかし、従来法では粉末状のCNTを基板上に塗布し配向させて利用するため密度ムラがあり、それが画素間輝度の均一性(FED)や変換効率(太陽光発電)に影響を与える問題が指摘されている。そこで基板上に直接配向成長できればこの問題が解決され、また製造プロセスも簡単になるのでコストが極めて安くなる。プラズマCVD(化学気相堆積)による成長ではこれが可能である。しかし、大面積基板への対応が課題として残っており、そのためのプラズマ制御法の開発が必要とされている。本研究では、大面積配向CNT作製に適した新しいプラズマ発生技術を開発し、CNT-FEDやCNT太陽光熱電子発電を将来的に実現すべく、大面積配向CNT製造技術の開発を目標とする。さらに将来的には、大面積配向CNT製造装置を商品化する。

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Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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