圧電アクチュエータ用鉛フリー積層薄膜の開発

Study period：2007 - 2007
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 大学院工学研究科, 准教授 )
Research overview：

本提案は、鉛フリー圧電新素材の開発に関するものである。化学溶液堆積(CSD)法を用いて、シリコン基板上に組成比x および結晶子径が異なるニオブ酸リチウムナトリウムカリウム固溶体(xLiNbO3-(1-x)Na0.5K0.5NbO3、LNKN)をナノ積層化するプロセス最適化に関する試験研究を行う。層間界面に導入される結晶歪みが積層薄膜の電気分極や電界誘起変位特性に及ぼす効果を試験評価し、圧電アクチュエータ分野で強く望まれる鉛成分を含まず、かつ高性能な圧電積層体薄膜の創製を図る。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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