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J-GLOBAL ID：202104015543868550  Research Project code：16808634

ホットカソード法を用いた酸化物絶縁体薄膜の高速スパッタ成膜技術の実用化開発

ホットカソード法を用いた酸化物絶縁体薄膜の高速スパッタ成膜技術の実用化開発
National award number：JPMJTM16CG
Study period：2016 - 2016
Organization (1)：
東北大学

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Research responsibility：
齊藤 伸

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(
東北大学

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, 工学研究科, 教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM16CG
Terms in the title (7)：
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