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J-GLOBAL ID：202104015588714200  Research Project code：15663340

薄膜金属ガラスを用いた超小型高感度静電容量型圧力センサの開発

薄膜金属ガラスを用いた超小型高感度静電容量型圧力センサの開発
National award number：JPMJTM15BR
Study period：2015 - 2016
Organization (1)：
名古屋大学

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Research responsibility：
櫻井 淳平

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(
名古屋大学

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, 大学院工学研究科, 准教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM15BR
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