プラズマ気相成長法による微結晶シリコン初期成長制御に関する研究

Study period：2009 - 2009
Organization (1)：
Principal investigator： ( , ナノデバイス研究所, 准教授 )
Research overview：

本研究は、気相成長法による微結晶シリコン薄膜の初期成長(インキュベーション)制御を行い、高効率太陽電池や高性能薄膜トランジスタに使用可能、かつ大面積基板への展開が容易な高品質微結晶シリコン薄膜形成手法を開発するものである。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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