酸素増感-真空紫外微細加工によるボトムアップ金属微細配線

Study period：2006 - 2006
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 大学院工学研究科, 教授 )
Research overview：

高分子表面の酸素増感真空紫外(Vacuum Ultra-Violet,VUV)露光による化学活性化により、選択的金属析出を誘起し微細金属配線を形成する.従来の光微細加工技術では必要不可欠であったフォトレジスト工程を不要とし、加工工程を大幅に短縮する。また、ボトムアップ(必要な場所へ必要なだけ物質を供給する)・アプローチによる、省資源性の高い微細加工技術を提供する.技術的な有効性は確認できているが、本申請では、再現性のある実用技術を開発するために、反応機構の解明に基づく最適な加工プロセスの設計を目標とする.

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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