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J-GLOBAL ID：202104015815497963  Research Project code：18088862

MEMS用超高性能単結晶PZT系薄膜の量産化と高信頼性付与に関する研究

MEMS用超高性能単結晶PZT系薄膜の量産化と高信頼性付与に関する研究
National award number：JPMJTM18E5
Study period：2018 -
Organization (1)：
東北大学

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Principal investigator：
吉田 慎哉

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(
東北大学

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, 工学研究科, 特任准教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM18E5
Terms in the title (8)：
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高性能

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Research program：
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Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency

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