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J-GLOBAL ID：202104015905844794  Research Project code：19211933

マイクロ音響素子用金属ガラス薄膜の開発

マイクロ音響素子用金属ガラス薄膜の開発
National award number：JPMJTM19E7
Study period：2019 - 2020
Organization (1)：
東北大学

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Principal investigator：
Froemel Joerg

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(
東北大学

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, 材料科学高等研究所, 准教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM19E7
Research overview：
本研究では高強度で低ヤング率というユニークな機械的性質を示す金属ガラスをダイアフラムとすることにより、既存の多結晶シリコンダイアフラムでは達成しえない高性能なMEMSマイクロフォンを実現する。
Terms in the title (5)：
Terms in the title
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マイクロ

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音響素子

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金属ガラス

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開発

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Research program：
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Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency

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