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J-GLOBAL ID：202104015966036771  Research Project code：09158911

プラズマプロセスのための欠陥予測システムの実用化

プラズマプロセスのための欠陥予測システムの実用化
Study period：2009 - 2010
Organization (1)：
東北大学

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Research responsibility：
寒川 誠二

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(
東北大学

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)
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プラズマプロセス

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欠陥予測

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, 
実用化

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Research program：
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Organization with control over the research：
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