Proj
J-GLOBAL ID:202104015986694821  Research Project code:08069462

1アトリットルの超微少量堆積塗付装置の開発

1アトリットルの超微少量堆積塗付装置の開発
Study period:2008 - 2008
Organization (1):
Principal investigator: ( , 工学部 機械工学科, 准教授 )
Research overview:
レーザートラップ技術による微小物の捕捉・移動技術と、基板への固定技術を組み合わせた微小物配置技術を検討する。諸条件の最適化により高速かつ安定な堆積条件を見出す。
Terms in the title (4):
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

Return to Previous Page