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J-GLOBAL ID：202104015986694821  Research Project code：08069462

1アトリットルの超微少量堆積塗付装置の開発

1アトリットルの超微少量堆積塗付装置の開発
Study period：2008 - 2008
Organization (1)：
静岡大学

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Principal investigator：
岩田 太

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(
静岡大学

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, 工学部 機械工学科, 准教授 )
Research overview：
レーザートラップ技術による微小物の捕捉・移動技術と、基板への固定技術を組み合わせた微小物配置技術を検討する。諸条件の最適化により高速かつ安定な堆積条件を見出す。
Terms in the title (4)：
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
微少量

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, 
堆積

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, 
塗付

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, 
開発

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Research program：
Industry-Academia Collaborative R&D

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Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency

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