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J-GLOBAL ID:202104016431528302  Research Project code:17943353

セルロース配合研磨液-ダイヤ/チタニア/セリア/セルロース四元複合粒子を用いたパワー半導体超平面創成材の開発

セルロース配合研磨液-ダイヤ/チタニア/セリア/セルロース四元複合粒子を用いたパワー半導体超平面創成材の開発
National award number:JPMJTM1714
Study period:2017 -
Organization (1):
Principal investigator: ( , その他部局等, 研究主幹 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTM1714
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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