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J-GLOBAL ID：202104016622008155  Research Project code：21447538

超高感度Au錘3軸MEMS加速度センサにおける容量オフセット削減技術の研究

超高感度Au錘3軸MEMS加速度センサにおける容量オフセット削減技術の研究
National award number：JPMJTM20N3
Study period：2021 - 2021
Organization (1)：
東京工業大学

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Principal investigator：
伊藤 浩之

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(
東京工業大学

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, 科学技術創成研究院 ナノセンシング研究ユニット, 准教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM20N3
Research overview：
Au(金)錘3軸MEMS加速度センサにおける初期容量のオフセットを削減する回路技術を実現する。特許技術であるΔΣ型容量・デジタル変換器を活用し、さらに低雑音な実装技術を確立することにより、従来の3軸MEMS加速度センサが未踏の感度(雑音フロア)である10μG/√Hz未満の実現を目指す。
Terms in the title (7)：
Terms in the title
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錘

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Research program：
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Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency

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