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J-GLOBAL ID：202104016649855810  Research Project code：18088849

多孔質樹脂との摩擦現象を利用したSiCの新高能率研磨工具の開発

多孔質樹脂との摩擦現象を利用したSiCの新高能率研磨工具の開発
National award number：JPMJTM18E4
Study period：2018 -
Organization (1)：
埼玉大学

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Principal investigator：
池野 順一

About 池野 順一

(
埼玉大学

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, 理工学研究科, 教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM18E4
Terms in the title (7)：
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多孔質樹脂

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摩擦

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現象

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SiC

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高能率

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開発

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Research program：
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Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency

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