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J-GLOBAL ID:202104016834877960
Research Project code:09157082
MEMS技術を利用した超小型真空計の開発
MEMS技術を利用した超小型真空計の開発
Study period:2009 - 2009
Organization (1):
Principal investigator:
(
, 理工学部, 教授 )
Research overview:
本研究では、赤外線センサなど真空パッケージ評価や分析装置内の微小空間の真空度を0.01Pa~10000Paの範囲で計測することできる1mm角以内の大きさの超小型熱伝導方式マイクロ真空計を開発する。この超小型真空計を用いることで、真空封止されたマイクロデバイスの信頼性試験データの取得が可能になり、局所的に真空度をコントロールする必要のある分析装置への適用が期待できる。さらに、量産性のあるMEMS技術を利用することから、従来の真空計の代替品としての普及も期待できる
Terms in the title (3):
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Research program:
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Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency
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