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J-GLOBAL ID:202104016836598561  Research Project code:15662986

銅ナノ粒子を用いたレーザー直接描画法による微細配線パターンのオンディマンド形成プロセスの開発

銅ナノ粒子を用いたレーザー直接描画法による微細配線パターンのオンディマンド形成プロセスの開発
National award number:JPMJTM15DU
Study period:2015 - 2016
Organization (1):
Research responsibility: ( , 多元物質科学研究所, 准教授 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTM15DU
Terms in the title (5):
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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