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J-GLOBAL ID：202104016836598561  Research Project code：15662986

銅ナノ粒子を用いたレーザー直接描画法による微細配線パターンのオンディマンド形成プロセスの開発

銅ナノ粒子を用いたレーザー直接描画法による微細配線パターンのオンディマンド形成プロセスの開発
National award number：JPMJTM15DU
Study period：2015 - 2016
Organization (1)：
東北大学

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Research responsibility：
渡辺 明

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(
東北大学

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, 多元物質科学研究所, 准教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM15DU
Terms in the title (5)：
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銅ナノ粒子

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