Proj
J-GLOBAL ID：202104017221852243  Research Project code：13423553

超高速・超低消費電力LSI向けナノ界面制御超低抵抗率Cu配線技術の確立

超高速・超低消費電力LSI向けナノ界面制御超低抵抗率Cu配線技術の確立
Study period：2014 -
Organization (2)：
ティーイーアイソリューションズ株式会社

About ティーイーアイソリューションズ株式会社

, 
茨城大学

About 茨城大学


Corporate responsibility：
ティーイーアイソリューションズ株式会社

About ティーイーアイソリューションズ株式会社


Research responsibility：
大貫 仁

About 大貫 仁

(
茨城大学

About 茨城大学

, 工学部, 教授 )
Terms in the title (5)：
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
低消費電力

About 低消費電力

, 
LSI

About LSI

, 
界面制御

About 界面制御

, 
低抵抗

About 低抵抗

, 
Cu配線

About Cu配線

Research program：
Industry-Academia Collaborative R&D

About Industry-Academia Collaborative R&D

＞
R&D Programs Focused on Technology Transfer

About R&D Programs Focused on Technology Transfer

＞
Adaptable & Seamless Technology Transfer Program through Target-driven R&D

About Adaptable & Seamless Technology Transfer Program through Target-driven R&D

＞
Promoting R&D

About Promoting R&D


Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM