高信頼性金属半導体ナノ複合材料の開発

Study period：2008 - 2008
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 大学院工学研究科, 准教授 )
Research overview：

シリコン表面にめっきを行うことで、従来にはない高い密着性を持つ金属薄膜をMEMSなどに用いられる複雑な形状の母材に均一に成膜する、高信頼性金属半導体ナノ複合材料を開発する。平成19年度シーズ発掘試験11-118「新規ウェットプロセスによる高密度垂直磁気記録媒体の製造」の成果を踏まえて、製造法を確立する。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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