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J-GLOBAL ID：202104017502526175
Research Project code：20348450
次世代半導体開発におけるプロセス設計の革新
次世代半導体開発におけるプロセス設計の革新
National award number：JPMJAX20A7
Study period：2020 - 2022
Organization (1)：
Principal investigator：
(
, 応用力学研究所, 助教 )
DOI：
https://doi.org/10.52926/JPMJAX20A7
Research overview：
次世代半導体の開発期間を短縮するためには、プロセス条件から結晶品質を定量的に予測する必要があります。しかし、気相・表面・固相における各物理モデルを演繹的に統合したマルチスケールシミュレーションでは、目的変数のオーダーや変化方向を予測するに留まるのが現状です。本研究では、物理モデルを最新の計測データにより修正、さらに各物理モデルを帰納的に統合することで定量的な予測を実現し、プロセス設計を革新します。
Terms in the title (4)：
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Research program：
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Parent Research Project：
AI powered Rsearch Innovation / Creation
Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency
