複合型走査型非線形誘電率顕微鏡の開発

National award number：JPMJSN04AA
Study period：2004 - 2008
Organization (1)：
Research responsibility： ( , 電気通信研究所, 教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJSN04AA
Research overview：

静電容量変化に対する高い感度とサブナノメータの空間分解能を持ち、線形・非線形誘電率の分布が計測可能な走査型非線形誘電率顕微鏡(SNDM)法を発展させ、従来にない高機能複合型SNDMシステムを開発します。この開発により、誘電材料中の分極、半導体中の電荷および高分子や生体の誘電特性とそれらに固定された電荷などが世界最高の性能で可視化できるようになり、種々の材料・素子の評価・分析に大きく貢献します。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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