クリーンルーム内の汚染物質を選択的に検出する分子ふるいセンサ

Study period：2006 - 2006
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 工学部, 助教授 )
Research overview：

新規性・独創性無機表面にnmより小さい形状選択的反応場を実現する技術は唯一。実用化の可能性クリーンルームメーカーとの連携により、直ちに商品化可能。内容と目標実験室では成功。シリコン基板上のセンサチップによって数ppmの溶剤共存下で数ppbのDAPを検出するセンサを開発する。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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