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J-GLOBAL ID:202104017886784133  Research Project code:7700007725

クリーンルーム内の汚染物質を選択的に検出する分子ふるいセンサ

クリーンルーム内の汚染物質を選択的に検出する分子ふるいセンサ
Study period:2006 - 2006
Organization (1):
Principal investigator: ( , 工学部, 助教授 )
Research overview:
新規性・独創性 無機表面にnmより小さい形状選択的反応場を実現する技術は唯一。実用化の可能性 クリーンルームメーカーとの連携により、直ちに商品化可能。内容と目標 実験室では成功。シリコン基板上のセンサチップによって数ppmの溶剤共存下で数ppbのDAPを検出するセンサを開発する。
Terms in the title (3):
Terms in the title
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Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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