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J-GLOBAL ID：202104017904820185  Research Project code：17937221

高耐熱積層型ひずみ抵抗薄膜を用いた高温用小型圧力センサの開発

高耐熱積層型ひずみ抵抗薄膜を用いた高温用小型圧力センサの開発
Study period：2017 -
Organization (2)：
日本リニアックス株式会社

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地方独立行政法人大阪府立産業技術総合研究所

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Corporate responsibility：
日本リニアックス株式会社

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Research responsibility：
筧 芳治

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高耐熱

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Research program：
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Organization with control over the research：
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