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J-GLOBAL ID:202104017915126825  Research Project code:14529955

電子ビームリソグラフィを用いた連続ナノパターニング用ローラーモールドの実用化研究

電子ビームリソグラフィを用いた連続ナノパターニング用ローラーモールドの実用化研究
Study period:2014 -
Organization (2):
Corporate responsibility:
Research responsibility: ( , 高度産業科学研究所 )
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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