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J-GLOBAL ID:202104018025806906  Research Project code:08000617

枚葉式スピン洗浄装置用完全純水駆動ウォータドライブスピンテーブルの開発

枚葉式スピン洗浄装置用完全純水駆動ウォータドライブスピンテーブルの開発
Study period:2007 - 2007
Organization (1):
Principal investigator: ( , 工学部 )
Research overview:
ウォータドライブスピンテーブルは,回転テーブルが純水の圧力によって浮上するため,テーブルとケーシングは完全非接触となる.しかも,本装置は,純水のエネルギーを利用してテーブルを回転させる構造を有するため,電動機や伝導要素が不要である.ウォータドライブスピンテーブルの主たる用途は,特に,線幅45 nm以下のシリコンウエハーの洗浄に必要不可欠と考えられている,枚葉式スピン洗浄装置用スピンテーブルである.
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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