枚葉式スピン洗浄装置用完全純水駆動ウォータドライブスピンテーブルの開発

Study period：2007 - 2007
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 工学部, 教授 )
Research overview：

ウォータドライブスピンテーブルは,回転テーブルが純水の圧力によって浮上するため,テーブルとケーシングは完全非接触となる.しかも,本装置は,純水のエネルギーを利用してテーブルを回転させる構造を有するため,電動機や伝導要素が不要である.ウォータドライブスピンテーブルの主たる用途は,特に,線幅45 nm以下のシリコンウエハーの洗浄に必要不可欠と考えられている,枚葉式スピン洗浄装置用スピンテーブルである.

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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