ガスクラスターSIMS基本技術の開発

National award number：JPMJSN06B7
Study period：2006 - 2009
Organization (1)：
Research responsibility： ( , 大学院工学研究科, 教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJSN06B7
Research overview：

数千個以上の気体原子で構成される巨大ガスクラスターイオンを一次イオンに利用し、照射損傷の極めて小さい二次イオン質量分析(SIMS)の基本技術を開発します。ガスクラスターイオンの構成原子数と加速電圧を制御することにより、構成原子あたりの運動エネルギーを1eV以下まで低下できるとともに、2次イオン生成率を従来の単原子イオン照射に比べて1~2桁増大させることができます。これらの特長を利用して、有機物分子構造の非破壊計測や1原子層の分解能で深さ方向分析が可能な高性能クラスターSIMSの実現を目指します。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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