微細めっき法による微小磁気レンズの開発

Study period：2009 - 2009
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 共生システム理工学類, 准教授 )
Research overview：

UV-LIGA(Lithographie Galvanoformung Abformung)めっき法を用いて、微細構造をもつ磁性体のマイクロブロックを基板上に複数立体配置し任意の局所磁場を生成できる技術を確立することで、磁気センサーの感度を大幅に向上させ、また多機能化を実現しうる微小磁気レンズを開発する。従来型のホールセンサーにおいて感度を10 倍に、またセンサー面に平行な磁場を面直方向に導くことで同一平面上のセンサーにおいて3 軸同時測定を可能にすることが目標である。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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