超電導軸受式ターボ分子ポンプの開発

Study period：2007 - 2007
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 機能システム創成, 教授 )
Research overview：

本応募課題では,この磁気軸受式ターボ分子ポンプに代わるものとして,高温超電導軸受式ターボ分子ポンプの提案を行う。この超電導軸受式ターボ分子ポンプでは,タービン翼浮上のため取り扱いが容易な高温超電導軸受を用い,到達圧力10-7Paオーダを目指す。本応募課題では,ねじ溝ロータを高温超電導軸受および永久磁石軸受によって非接触浮上および高速回転させる超電導軸受式ターボ分子ポンプの提案を行い,その実用化への基礎研究を行う。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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