誘導熱プラズマによる新・高速表面窒化処理

Study period：2008 - 2008
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 理工研究域, 准教授 )
Research overview：

誘導熱プラズマは不純物濃度の低い超高温状態を実現できるため、超高速材料プロセスへの応用が期待できる。申請者らは、この誘導熱プラズマの機能性・制御性をさらに高めるために、これまでに誘導熱プラズマを維持するコイル電流に変調を加えるパルス変調誘導熱プラズマ(PMITP)、さらに任意波形変調誘導プラズマ(AMITP)を世界で初めて開発した。本研究では新開発した上記変調高熱流誘導熱プラズマを用いた超高速表面窒化処理技術の開発を目的としている。

Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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