フォトニック結晶によるコントローラブル光デバイスの研究開発

Study period：2002 - 2005
Organization (1)：
Research responsibility： ( 名誉教授 )
Research overview：

新規「自己クローニング」プロセスによって凹凸ナノ構造を周期的に積層した「フォトニック結晶」の製造技術を開発し、光通信用「偏光モニタ」に最適化した「フォトニック結晶」を基幹部品とする小型(従来比1/10)高精度(数倍)「偏光(SOP)モニタ」モジュールを開発した。更に同様な集積化「フォトニック結晶」を応用した膜厚計測用「エリプソメータ」を試作し高性能特性を確認した。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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