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J-GLOBAL ID:202104018883720840  Research Project code:07100217

X線円形多層膜ラウエレンズの開発

X線円形多層膜ラウエレンズの開発
National award number:JPMJSN06B2
Study period:2006 - 2009
Organization (1):
Research responsibility: ( , 大学院物質理学研究科, 教授 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJSN06B2
Research overview:
超精密成膜技術を用いて、高空間分解能かつ高回折効率のX線円形多層膜ラウエレンズを開発します。従来の電子ビームリソグラフィー法に基づくX線レンズの製作では、いずれの性能もほぼ限界に達しており、ナノメータスケールの非破壊構造観察を実現するには、新しい製作法の導入が不可欠です。10nm以下の空間分解能を有するX線円形多層膜ラウエレンズを開発し、究極の電磁波であるX線自由電子レーザーがもたらすX線画像科学における質的変革の一翼を担います。
Terms in the title (5):
Terms in the title
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Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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