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J-GLOBAL ID:202104018962929622  Research Project code:20347927

ナノシート技術を用いた革新的誘電材料・デバイスの開発

ナノシート技術を用いた革新的誘電材料・デバイスの開発
National award number:JPMJTR20TB
Study period:2020 - 2022
Organization (1):
Research responsibility: ( , 未来材料・システム研究所, 教授 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTR20TB
Research overview:
層状金属酸化物の単層剥離により得られる原子膜「酸化物ナノシート」に注目し、ナノシートをベースとする革新的誘電材料、デバイス技術の開発を行う。高誘電性、サイズ効果フリー、高耐熱性などの特異物性を有する酸化物ナノシートをモデルケースに特性制御技術を確立し、巨大誘電特性を示す新規材料を開発する。さらに、ナノシートを1層ずつ精密集積、界面制御する原子膜エンジニアリングを利用して超薄膜素子を作製し、既存材料・技術で実現しえない超薄膜高容量キャパシタの開発を目指す。以上、本研究により、電子セラミックス部品の低環境負荷製造技術の基盤構築とともに、誘電体を利用した究極の安全蓄電デバイスの開発につなげる。
Terms in the title (3):
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Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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