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J-GLOBAL ID:202104019002160665  Research Project code:19216127

複数波長レーザを用いた厚板および大口径サファイアの熱応力割断技術の開発

複数波長レーザを用いた厚板および大口径サファイアの熱応力割断技術の開発
National award number:JPMJTM19F7
Study period:2019 - 2020
Organization (1):
Principal investigator: ( , 設計製造技術研究所, 教授 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTM19F7
Research overview:
波長が異なる複数のレーザを用い,試料内部に形成される熱応力場を制御し,厚さが30 mm以上の平板,直径が30 mm以上の円筒のサファイア結晶を,高歩留まり,高速・高精度で細分化するレーザ割断技術を確立する.
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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